진공챔버의 구조 안전성 및 내구성 검토

NFX STR 산업장비 열전달해석, 열응력해석

해석목적

 

•  진공과 가압이 반복되는 하중에 대한 진공챔버의 구조 안정성 확인

 

진공챔버 관련 이미지 진공챔버 관련 이미지

진공챔버 관련 이미지

 

해석조건

 

 

진공챔버의 캐드모델 및 하중조건 진공챔버의 캐드모델 및 하중조건

 

진공챔버의 캐드모델 및 하중조건

 

해당 모델은 대칭형상으로  ½ 대칭모델로 해석을 진행하였습니다.

 

•  구속조건 : 완전구속조건 적용
•  하중조건 :
  - 열전달해석 : 온도에 따른 열 하중 적용
  - 열응력해석 : 온도하중, 진공 및 자중 적용

 

열전달 해석의 하중조건

열전달 해석의 하중조건

 

열응력 해석의 하중조건

열응력 해석의 하중조건

 

해석결과

 

본 해석은 midas NFX Structure의 열전달 및 열응력해석으로 수행되었으며, 결과적으로 최대 변위가 460 μm으로 진공과 기압의 반복하중에 대한 구조 안전성을 확인 할 수 있었습니다.

 

이송챔버의 진공, 자중 및 열하중에 따른 변형결과

이송챔버의 진공, 자중 및 열하중에 따른 변형결과

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