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NFX CFD 혼합물해석 (웨이퍼 후처리챔버)

작성자: midasMTS | Jan 31, 2025 7:49:39 AM

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설명 (Description) 

 

실습모델은 가스 충진이 되는 웨이퍼 후처리용 챔버에 대한 혼합물유동해석입니다.
두개의 유체가 주입되는 상황에서 챔버 내부의 유체흐름과 농도, 충진 속도를 확인합니다.
혼합물 유체에 대한 해석프로세스와 질량분율, 등위면 기능을 이해하는 것을 목표로 합니다.